化學(xué)品分配系統(tǒng)是旨在將化學(xué)品和化學(xué)品輸送到用于濕法處理晶圓的生產(chǎn)工具。通常，濕處理化學(xué)品通過(guò)過(guò)濾器被泵送到儲(chǔ)罐中，然后將過(guò)濾的化學(xué)品供給到工廠(chǎng)中其他的處理工具。過(guò)濾流量通常很低，通常是單程的，意味著這些化學(xué)品只被過(guò)濾一次。由于過(guò)濾器有一個(gè)或多個(gè)機(jī)會(huì)可以去除不需要的顆粒，所以應(yīng)該使用具有高顆粒去除效率的過(guò)濾器。
XZC為化學(xué)品分配提供理想選擇，這些過(guò)濾器專(zhuān)為單通道或小流量系統(tǒng)而設(shè)計(jì)，并針對(duì)較高的顆粒去除效率和清潔度進(jìn)行了優(yōu)化。
