半導體工業(yè)用的超純氣體有氫、氧、氮、氬、氦、氨、二氧化銨、四氧化碳各類氣體氫化物及二元或三元以上的混合氣等，它們大部分 是從空氣、天然氣、石油化工和合成氨廠的殘余氣體中提取后進一步精制得到，根據(jù)原料氣來源情況、雜質(zhì)組份含量、純度要求來選擇相應(yīng)的制備方法。集成電路發(fā)展到兆位級后，對超凈提出了更嚴格要求，在超純氣體或電子氣體供氣系統(tǒng)中，為了脫除由于振動或氣流沖擊所造成的脫落粒子，在使用氣前須安裝過濾器。
（POU）過濾器是使用ISO 9001認證質(zhì)量體系在較先進的Class 100潔凈室中制造的。過濾器是精密焊接在一個特別設(shè)計的手套箱與大氣凈化。去離子水沖洗，然后是高壓，0.003μm過濾氮沖洗去除顆粒，并防止顆粒脫落。
我們的POU過濾器根據(jù)需要真空干燥至小于10ppb的水分，有機物小于10ppb THC。POU過濾器采用無顆粒，化學清潔，無有機物處理和裝袋的方式，可大限度地提高安裝在要求最嚴格的微電子應(yīng)用中的包裝外清潔度。超過半導體加工的高純度氣體處理過濾要求。
我們高質(zhì)量產(chǎn)品經(jīng)過廣泛的測試，以確保其滿足半導體制造中氣體輸送系統(tǒng)的關(guān)鍵過濾效率，準確的流量控制和安全要求。
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